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紫外線は可視光(約380nm紫色〜780nm赤色)より波長が短く、目に見えません。
そのためUV(=紫外線)ランプの光は、「『青白く見える可視光』と『紫外線』が混ざったもの」ということになります。
紫外線は、その波長の長さ(単位:nm=ナノ・メートル / ナノ=10億分の1を表す)により,
UV-A(400nm〜315nm)
UV-B(315nm〜280nm)
UV-C(280nm〜200nm) と、一般的には分類されます。
UVを技術的に利用する場合は、具体的な紫外線波長によって用途が分かれます。
UV樹脂・UV塗料の硬化 (200〜400nm波長、主に365nmを利用)、
ウェーハ洗浄、殺菌など (主に254nm波長、オゾンを発生させる185nmの併用もある)、
特に近年UVの応用がめざましい技術では、UV洗浄・UV改質(=254nmと185nmの併用が主流)があります。
< UV波長区分のイメージ >
(株式会社大同印刷所
資料より)
さらに、i 線(365nm), h線(405nm), g線(436nm) という表現が使われるケースや、
DUV、EUVといった言葉が登場する場合もあります。
DUV=「Deep
Ultraviolet:遠紫外線」 波長は200nm程度。
殺菌やチップ製造などの技術説明で登場します。
XUV=x/10nmから数十nmの範囲の波長。
極紫外線とされ、XUVまたはEUV放射線とも呼ばれます。
EUV=「Extreme Ultraviolet:超紫外線」
13.5nmなど極めて波長の短い超紫外線。
EUVは用語として通常、リソグラフィと組み合わせて使用され(EUVLなど)、
約5〜20nmの放射線帯を指します。つまりXUV範囲の一部です。
またランプ等級では、「高出力のUVランプ」をEUVと表示します。
SUV / XE(Xe)
マテリアルテスト(品質試験)での、人工的な天候下での耐久試験などにUVを使う場合、
UV照射のことをSUV、太陽光の波長と分光分布が近似したキセノンアーク灯
(およびその照射)はXEと略されます。
またランプ等級で、「標準的なUVランプ」をSUVと表示します。
| <参考知識:光線の分類> |
紫外線を利用する技術では、その目的によって紫外線波長が違ってきます。
UV樹脂・UV塗料 /インキの硬化=200nm〜400nmの範囲で、主に365nm。UVインキ乾燥等で400nmを超す光線を併用する場合もあります
UV洗浄、表面改質、殺菌など =254nm (UV+OZONE法では185nmを併用)
オゾン生成 =185nm
熱帯魚飼育・日焼け灯 =UV−B域を使用
などが挙げられます。
また次項に説明するように、その光源となる紫外線ランプの種類も、紫外線波長によって異なります。
各紫外線波長別 / 用途別の 紫外線照射装置については 『紫外線照射装置』をご参照ください。
産業技術で紫外線を発生させる光源ランプの区分では、一般的に以下のランプが使われます。
低圧水銀UVランプ:185〜254nm用
高圧水銀UVランプ:365nm用
メタルハライドUVランプ:200nm〜400nm帯への連続波長
この他にエキシマランプ、超高圧UVランプがありますが、一般産業ではあまり普及していません。
低圧水銀ランプと高圧水銀ランプは同じ波長のスペクトルを発光していますが、
強度分布が全く異なるため、実用的に185nm〜254nm用=低圧、365nm用=高圧、とランプ用途が分かれます。
例えば実用的に、低圧水銀ランプの主な発光スペクトルは254nm線と185nm線の2本になっており、それも
使用するガラスによりオゾンタイプ(185nmを透過させます)、オゾンレスタイプ(185nmをカット)に分かれます。
ランプのスペクトル特性については、表1の放射エネルギー表と図1、2をご参照ください。
表1.水銀ランプの分光放射エネルギー
| 高圧水銀ランプ |
低圧水銀ランプ |
殺菌灯 |
備考 |
|||||
| HL-100 |
HL-400 |
SUV-40S |
SUV-110S |
ペンライト5W |
GL-30 |
|||
| ランプワット(W) |
100 |
400 |
25 |
95 |
5 |
30 |
||
| 波長(nm) |
分 光 放 射 エ ネ ル ギ ー(W) |
|||||||
| 184.9 253.7 2640-52 2699 275.3-6.0 |
---- 0.48 0.70 0.14 0.07 |
---- 5.4 4.1 0.9 0.6 |
1.64 6.3 |
6.5 |
*** 1.0 1.1×10−3 3.2×10−4 |
0 7.2 |
UV-C領域 |
|
| 280.2 289.4 290.7 296.5 302.2 313.2 |
0.28 0.14 0.49 0.77 2.1 |
2.4
1.7 4.0 6.6 11.8 |
1.7×10−4 7.9×10−4 6.0×10−3 1.1×10−2 1.1×10−2 |
UV-B領域 |
||||
| 334.1 365.0-6.3 |
0.21 3.08 |
2.5 25.7 |
5.5×10−4 1.2×10−2 |
UV-A領域 |
||||
| 404.7-7.8 435.8 546.1 577.0-9.0 |
1.26 1.89 2.17 1.89 |
11.7 17.7 21.9 18.8 |
9.5×10−3 1.7×10−2 1.2×10−2 3.5×10−3 |
Visible領域 |
||||
図1.高・低圧水銀ランプ
< 高圧水銀UVランプ>

<低圧水銀UVランプ>

図2.(参考)蛍光式UVランプ

・SEN-lights文献参考
CHEMICAL LAMPは補虫器など、ERYTHEMAL LAMPは赤斑治療などに使用されます。
*メタルハライドランプの分光分布は、こちらをご参照ください。
(メタハラ分光分布資料(jpg)から、このページに戻るには、ブラウザの[戻る(←)]ボタンをクリックしてお戻りください)
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<参考>照射力を現す表示単位・計算方法
等について nm(ナノメートル):可視光線波長から電波まで『波のひとつの長さ』を表す際の単位のひとつ。 n(ナノ)は『1000.000.000分の1』の意味。 -他にUVの記述で よく使われる単位- μ(マイクロ) :1.000.000分の1>>1μW=百万分の1ワット m(ミリ) :1.000分の1>>1mW=千分の1ワット k(キロ) :1.000倍 >>1kW=1000W>>1kWは1mWの百万倍 mW/cu >>UV照度の単位。「UV強度」と表現される場合もある。「ミリワット・パー・平方センチメートル」と読みます。 UV照射機の選定において、非常に重要なポイントとなる数値。 この「UV照度」に、「時間(単位=秒)」を掛け算して、「硬化に必要なUV照射量(=UV露光量)」を算出します。 式にすると>> UV露光量(単位:mJ/平方cm) = UV照度(単位:mW/平方cm) x 照射時間(単位:秒) mJ/cu >>UV照射での積算照射量(=積算光量)を示す単位のひとつ。Jはジュールと読み、mJ(ミリジュール)は千分の1ジュール。 「UV照度」に、「時間(単位=秒)」を掛算して、「硬化に必要な光線量(=UV露光量)」を計算します。 式にすると>> UV露光量(単位:mJ/平方cm) = UV照度(単位:mW/平方cm) x 照射時間(単位:秒) 読み方は「ミリ・ジュール・パー・平方センチメートル」 cu部分を「スクエア・センチメーター」と[英語読み]する場合もあります。 μW/cu >>UV照度の単位。「マイクロワット・パー・平方センチメートル」と読み、「ミリワットの千分の1」になります。 UV殺菌などでは、UV硬化よりはるかに微弱な光で殺菌できるので、μ単位の表示がよく使われます。 W/u >>UV照度の単位。ただし環境測定(太陽光などのUV照度)でよく使われます。 mW/cuに比べて1000/(100x100) であるため、10W/u=1mW/cuと、1ケタ分子が大きく表示されます。 UV硬化装置で性能表示がW/uの場合は、陶芸教室やネイル乾燥など趣味領域の装置です。 また「測定波長は何nmか」にも注意する必要があります。(用途に適さない波長の場合もある) -UV照射装置の説明で よく使われる用語- 発光長=光源部(ランプ)の発光部分の長さ寸法。ミリ・メートルかセンチ・メートル単位で示します。 標準的な1kWランプは120mm(12cm)、400Wランプは80mm(8cm) 単位長W(たんいちょうワット)=光源の発光部分(=発光長)の長さ(主にcm単位)、1単位あたりのワット数。 標準的な1kWランプは80W/cm、400Wランプは50W/cm UV強度: 光源から出ているUVの強さ。光源からの距離によって数字は変わるので、普通はUV強度と測定距離を併記しますが、 例えば弊社製品のUV照度は1kWならランプ中心から5cmの距離で240mW/cu 、10cmで210mW/cu です。 ランプ装置の場合、反射ミラーが拡散タイプか集光タイプかによっても数値が大きく違ってきます。(*配光特性を参照) 実用的な距離でのUV強度のみを表示して、距離の表示は省略する場合もあります。 UV照度: UV強度を「UV照度」と呼び替えたり、「光量(こうりょう)」と示す場合もあります。UV強度を測る計測器は、 (UV光量) 表示単位はルクスでなくmW/cuやμW/cuですが「UV照度計」や「UV光量計」と呼ばれています。 積算光量: 「UV強度x秒数」あるいは「X秒間に照射された光の総量」を指します。単位は仕事量を表すJ(ジュール)を使います。 (積算照度) UVによる変化(硬化・分解・結合など)に必要な照射量や、コンベア装置で搬送するワークがランプから受ける光の総量を 示す際や、それらの再現時(照射条件決め・照射条件の目安指定)などに使われるため、使用頻度の高い用語です。 例:100mW/cm2 x 10秒=1000mj/cm2 併せて照射距離、波長、ランプの種類、積算照度計の機種名を併記する事も多いです。 配光特性: 「どれくらいのUV強度が、どれくらいの範囲に行き渡っているか」を示すもので、主に折れ線グラフで表示します。 (照度分布) ランプの長さに並行の方向、ランプと垂直方向の、2つのグラフを表示するのが一般的です。 反射ミラーが集光タイプだと並行方向の光が強く、垂直方向の幅がない帯状の光になり、 拡散タイプの反射ミラーにすれば、UV強度のピークは弱くなりますが、並行・垂直方向とも、均等に近くなります。 「逆二乗の法則」 光源「点」から測るのが原則だが、照度(E)は「光源の光度(明るさ:I )に比例して、距離(R)の二乗に反比例」する。 式にすると>> E=I/R x R 明るさと距離の関係は、そのため逆放物線グラフ状のイメージになる。 * この計算式は比較で使うので、例えば1mと50cm、10mmと5mmでは、それぞれ明るさは4倍違うことになりますが、 光源が点ではなく蛍光灯のような棒状の場合は、照度線グラフはゆるやかな右肩下がりになります。 |
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