| |
| |

光表面処理 高性能装置:OPL16N
|
<UV表面改質/UV洗浄用で納品台数:NO,1
高機能 卓上装置:OPL16N>
■ 高出力&長寿命ランプ搭載、 0.1秒から999時間までのオフタイマー、
アワーメーター、インターロック機構もご用意しました
距離調整が簡単な専用ラボ・ジャッキ内蔵で価格は据え置きです。
■
254nm照度:20mW/cm2以上
■
実験・研究開発用途で、最も実績のある卓上装置です。
*大学院、各種研究施設、アジア〜ヨーロッパ圏まで
実験・開発・生産用として
幅広い用途でご採用いただいております。
表面処理(光表面改質・光洗浄)技術のダイジェスト に つきましては
下段落の「詳しくはこちら」マークをクリックしてください。
|
| |
[*弊社からの大学納品実績例]
東北大学, 新潟大学,
東京大学,
東京工業大学, 慶応大学, 筑波大学,
静岡大学, 名古屋工業大学,
名古屋大学,
山梨大学, 京都大学,
神戸大学, 岡山大学, 九州大学,
弘前大学, 東北工業大学,
長岡科学技術大学, 東京都市大学,
(敬称略・順不同 ) |
業界NO,1実績 実験装置だけでも10種類をご用意。最適の装置をお選びいただけます。

卓上型
引出型 組込ユニット 簡易ハンディ装置
|
OPLシリーズUV改質・UV洗浄用 卓上ボックス装置 (ステージサイズ:200〜300角)
| 型 式 |
OPL2001 |
OPL1102 |
OPL2003 |
| 寸 法(mm) |
W370xD380xH355 |
W350xD250xH400 |
W550xD590xH450 |
| 照射エリア |
200×200(mm) |
230x230(mm)
*8インチ対応 |
300×300(mm) |
| ランプ電力 |
200W |
400W |
600W |
| ランプ型式 |
EUV200GS |
EUV200WS |
EUV200WS |
| ランプ本数 |
1本 |
2本 |
3本 |
| 標準セット |
インターロック・照射タイマー・ブロア |
インターロック・照射タイマー・ブロア |
インターロック・照射タイマー・ブロア |
*外観図面などをメール添付にてお送りできます。
|
|
|
<OPL16N>
■ 30cm角のスペースがあれば簡単に設置でき、高度な実験から生産用途まで使えます。
■ 光源には合成石英ガラス製16p角110W光源(185nm,254nm
同時発生型ランプ光源)を採用。
■ 160mmX160mmエリアで表面処理が出来ます。(照射範囲=150mmx150mm)
■ ランプの冷却とオゾンの排出は、付属の外置きのブロアーで行います。
光源ボックスとブロアーを接続するダクトホースも付属しています。
■
本体と電源(100V)は独立しており、軽量で持ち運びも楽に出来ます。

UVによる表面処理のメカニズムには、UVの持つ「エネルギー」と「185nm波長UVによる 酸素のオゾン化」と、
「254nm波長UVによる オゾンの活性酸素分子化」 が活用されるため、UVのエネルギー と 活性酸素分子を
同時に得られる低圧水銀ランプ(=185nm, 254nm 同時発光型ランプ)が 光源として適しています 。
ノウハウとして、 石英ガラスを使用したランプを使用することでイオン管より優れたオゾン発生率が得られます。
例えばOPL16Nが内蔵する110Wランプは、15WのGL-15 ランプの156.25倍以上のオゾンを発生します。
化学反応では、例えば水素と酸素の場合、それらを混ぜただけでは反応が進みません。反応させるには「燃焼」
によってエネルギーを与え、反応を起こさせます。 UV洗浄はオゾンの酸素分子と物質表面の有機物との化学反応で、
そのためのエネルギーとしてUVが役立っています。この反応はオゾンが高濃度で、UVのエネルギーが強いと促進され、
具体的には「強力な洗浄力によるUV洗浄効果」や「時間が短縮された効率的な実験・研究」という成果に結びつきます。
SK100Nが人気を集めている理由のひとつは、強力なUV強度と高濃度オゾンを同時に得られる110Wクラス最高の
ハイパワー石英ランプ(185nm, 254nm 同時発光型ランプ)を搭載していることにあります。


1.構造と構成
図1:横から見たUV表面処理装置の内部構造を示しています。
・ 光源とステージの間は距離調節ができ、フィルム状の物から立体成型物まで表面処理できます。
・ 照射距離は距離測定可能トレイで調整出来ます。(手動ラボジャッキ内蔵タイプもご用意できます。)
・ 扉には覗き窓があるので、表面処理実験をしながら照射状態など中の様子を見る事が出来ます。
・ 扉には測定器のコードが通る貫通口を設けています。
 |
| 図1 照射装置内部構造(ラボジャッキ・タイプ) |
図2は排気フローを示します。
・ ランプの冷却とオゾンの排出は、付属の外置きのブロワで行います。
表面処理(UV照射)装置〜ブロワ間とブロワ出口にダクトホースが付属品として準備されています。
・ 排気は屋外へ排出するのが一般的ですが、オゾン触媒もご用意しています。
 |
| 図2 排気フロー |
表面処理装置OPL16NのUV照射部と電源の主仕様を、表1に示します。
[表1 主仕様一覧表]
| 項目 |
仕様 |
| 照射装置 |
型名 |
OPL16N |
| 寸法 |
300×330×355 H (mm) |
| 重量 |
10kg |
| UV照度 |
254nm:20 mW/cm2以上 (照射距離10mm)※1
185nm:06 mW/cm2以上 比率計算値※2
|
| 光源〜試料台距離 |
0 〜 100mm (手動式ラボジャッキは80mmまで) |
| 試料台 |
ステンレス平板、センター位置表示あり |
| 試料台寸法 |
230X190(mm) |
| ランプ面寸法 |
160×160 (mm) |
| ランプ型 |
グリッド・ランプ (材質:合成石英ガラス) |
| ランプW数 |
定格110W(実ワット95W) |
| 冷却 |
強制空冷 (ブロワ外置き) |
| ブロワ |
オゾン排気用 x 1台付き |
| ダクトホース |
φ75×2500 (mm)(光源―ブロワ間)<付属品>
φ50×2500 (mm)(ブロワ出口用) < 〃 > |
| 電源 |
型名 |
UVE110 |
| 寸法 |
185×525×150 H(mm) |
| 重量 |
8kg |
| 電源入力 |
AC 100V 単相 50/60 Hz |
| 入力電力 |
210W (ブロワ含む) |
| アワーメーター |
ランプ寿命管理用(リセット機能付き) 7桁表示 |
| 照射タイマー |
照射時間設定範囲 0.1S〜999H |
※ 1 UV計による測定値。 UV照度はセンサーの方式などにより各メーカー毎に異なります。
照度値を比較する時は、照度計のメーカー名及び型式によって、比較補正して下さい。
※ 2 185nm波長の照度は254nmの約1/3のため、UV計での254nm照度に合わせた比較計算値を算出。
浜松ホトニクス(株)製UV計(C8026:本体、H8025-185:センサ)での185nm照度測定値は15mW/cm2以上。
※ 3 照射テーブルを水冷式にする等、個別のカスタム・オーダーにも対応いたします。
使用ランプは、110Wのグリッド形面光源です。(下図参照)
バルブには、185nm線を80%以上透過させる高品質の合成石英ガラスを採用しています。
 |
| 図4 UVランプ外観図 |
詳細は 環境事業部門 (電話:045-543-9437)
まで お気軽にお問い合わせください。
|
|