■ UV(紫外線）/ DUV/ EUV/ SUV
紫外線＝UVとは、可視光より波長の短い光で、
波長の長さにより
UV-A(400nm〜315nm)
UV-B(315nm〜280nm)
UV-C(280nm〜 10nm) と、一般に分類されます。
紫外線（UV）は上手に使えば極めて有益で、例えばUV-Bは自然界での浄化殺菌も行なっています。
その他にも、環境にダメージを与えない処理法として様々な使い方があり、UV-B、UV-Cはそれを利用した
治療法や、工業用として多用途で活用されています。
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利用技術の代表例としてはUV樹脂・UV塗料の硬化、UV洗浄(ウェーハ等）、紫外線殺菌などが挙げられ、
特に近年UVの応用がめざましい技術ジャンルに、UＶ洗浄・UV改質があげられます。
これらのジャンルではUV−A・B・C以外にＤＵＶ、EUVといった言葉が登場する場合があります。
DUV＝「Deep Ultraviolet：遠紫外線」 波長は２００ｎｍ程度。
殺菌やチップ製造などの技術説明で登場します。
極紫外線とされ、ＸＵＶまたはＥＵＶ放射線とも呼ばれます。
EUV＝「Extreme Ultraviolet：超紫外線」 １３．５ｎｍなど極めて波長の短い超紫外線。
EUVは用語として通常、リソグラフィと組み合わせて使用され（EUVLなど）、
約５〜２０ｎｍの放射線帯を指します。つまりＸＵＶ範囲の一部です。
またランプ等級では、洗浄・改質で主に使用される「高出力のUVランプ」をEUVと表示します。
SUV
/ XE（Ｘｅ）
マテリアルテスト（品質試験）での、人工的な天候下での耐久試験や殺菌などでも使われる高位機種の
標準等級ＵＶランプのことをＳＵＶ、太陽光の波長と分光分布が近似したキセノンアーク灯
（およびその照射）はＸＥと略されます。ランプ品種で言うSUVランプは、EUVランプと違い、強制冷却なしで
使用できます。
紫外線技術分野でＳＵＶと記号の付く製品は紫外線照射に関連しますが、化粧品など記号的に
ＳＵＶと商品名に付いている場合は、照射とは逆の「紫外線カット」の意味である場合もあります。
