表面改質、UV表面改質、UV表面処理のマリオネットワーク

  
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   大学院、各種研究施設の 実験〜生産用途まで
   幅広くご利用いただけます。



<予算9万円から。従来施設を、簡単にクリーンルームに!>


■従来比2倍のスピード除塵/大風量化を実現。
 レベル1000対応で、高度な実験から生産用途まで使えます。

ろ過能力の高いHEPAフィルタ*採用。
 * 0.3μmのパーティクルを99.99%ろ過する能力を持っています。

目的に応じて、高度なシステムにコンポーネントできます。

独自の送風構造で、広範囲に均一なエアを供給します。

独自の2ファン構造で、薄型化と大風量を同時に実現。
 従来よりコンパクトで1ランク上の能力です。

風量切替は5段階で、快適な量に設定できます。

フィルタ交換時期やファン停止等の異常を光でお知らせ。
 コーナ2ヵ所にLEDを設置、多角度からチェックできます。


 
■従来比2倍のスピード除塵/大風量化を実現
独自のツインファン構造採用(形ZN-A2502)で、薄型化と大風量を同時に実現。
従来品と比較すると、1ランク上の能力で、ダウンサイジングが可能です。

■外部入出力インターフェースを装備。
自己診断機能でフィルタ交換時や異常運転時にはアラームが出力されます。

外部入出力インターフェース図

 

 

■超簡単メンテナンス
バックル構造で、フィルタをワンタッチ交換でき、
現場でのメンテナンス時間を短縮できます。

フィルタ交換図解

 

■エアパーティクルセンサでパーティクル量を常時センシング。
パーティクル量に応じて、2つのパターンで風量を制御することで、
急速換気から省エネの段階運転まで、最適なクリーン環境を維持します。

急速フィードバックと定常フィードバックのグラフ

 

■変化する製造環境を常時センシングして最適なクリーン環境を提供。
最大9台までのエアクリーンユニットをセンシング&コントロール。
工程毎のクリーン度を、品質と関連づけて管理できます。

エアクリーンユニットのセンシング&コントロール図


■アプリケーション

電子部品製造工程

マルチクリーンコントロールに

電子部品製造工程の図
 
生産工程/検査・測定ブース

UV照射・UV洗浄実験などに

セル生産工程の図
 
保管または試験環境

精密部品などの保管に

保管または試験環境の図
 
 


詳細は 045−543−9437:環境事業部門まで お気軽にお問い合わせください。


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